1100℃滑軌式管式爐
滑軌式管式爐一體化結構設計，用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求，通過移動爐體實現快速冷卻的目的。同時也可以預先設定溫度，然后移動到樣品處，達到快速升溫的效果。適合使用廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。
所屬分類：
關鍵詞： 1100℃滑軌式管式爐
產品描述
特點
● 工作溫度范圍：RT~1000°C。
●額外選配：爐內測量系統（氧含量檢測系統、溫度檢測系統）；真空系統（旋片式機械泵、擴散泵機組、分子泵機組）；氣氛系統（浮子流量計、質量流量計）；監控系統（溫度記錄儀、觸摸屏遠程監控）；選件需配置拓展柜體。
技術參數
| 設備型號 | 最高溫度 | 管徑 | 加熱區 | 溫區數 | 熱電偶 | 電壓 | 功率 |
| FGL(RTP)-40/11/1 | 1100℃ | 40mm | 320mm | 1個 | K型 | 220V | 3.0KW |
| FGL(RTP)-60/11/1 | 1100℃ | 60mm | 320mm | 1個 | K型 | 220V | 3.0KW |
| FGL(RTP)-80/11/1 | 1100℃ | 80mm | 320mm | 1個 | K型 | 220V | 3.0KW |
| FGL(RTP)-90/11/1 | 1100℃ | 90mm | 320mm | 1個 | K型 | 220V | 5.0KW |
| FGL(RTP)-100/11/1 | 1100℃ | 100m | 320mm | 1個 | K型 | 220V | 5.0KW |
| FGL(RTP)-110/11/1 | 1100℃ | 110mm | 320mm | 1個 | K型 | 220V | 5.0KW |
注：給出的最高溫度為工作管外測定，其它溫區個數和加熱區長度可根據客戶工藝要求定制。
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